埃米仪器完成数千万元Pre-A轮融资，博将资本领投

近日，南京埃米仪器科技有限公司（下简称：埃米仪器）完成数千万元Pre-A轮融资，博将资本领投。本轮融资将用于进一步提升先进半导体制程用的高精密量测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。

埃米仪器成立于2022年，公司成立以来一直引领国内高精密 3D 量测设备的国产化，攻克核心技术。产品聚焦于纳米/亚纳米级三维结构的高精密高速量/检测装备。产品主要应用于芯片制程中的微结构量测和缺陷检测，解决相关领域的卡脖子技术。埃米仪器产品和技术已获得国内顶尖芯片制造企业的认可，对推动国内先进工艺的发展，提高芯片制造良率，缩短制程研发周期有重大意义。

在线工业级原子力显微镜量测设备APEX-X1（全自动机台）

量测设备是位列刻蚀、薄膜沉积、光刻后第四大市场的半导体设备，规模占半导体设备市场份额的15%左右。量测设备能在生产中监测、识别、定位、分析工艺缺陷，对晶圆厂及时发现问题、改善工艺、提高良率，起到至关重要的作用。随着集成电路继续多层化、复杂化，量测设备的重要性日趋凸显。然而，中国半导体量检测设备市场被国际厂商高度垄断，是半导体设备中除光刻机外国产化率最低的领域。

据了解，原子力显微镜（AFM）是目前精度最高的量测设备之一（原子级，约为一根头发丝的60万分之一），也是目前唯一能集检测和修复为一体的技术手段。可以应用于局部粗糙度量测、高深宽比三维结构量测、键合三维结构、光罩修复、光刻和刻蚀关键尺寸量测等方向。随着集成电路制程继续朝高端推进，AFM在先进制程中正在成为主力量测设备，国际巨头（ASML等）已开始进行布局。其中以在线原子力显微镜为主打产品的荷兰Nearfield Instruments（曾获得淡马锡、三星等多家国际资本累计近2亿欧元的融资）已被列入欧盟重点保护/支持企业之一（荷兰：ASML、NXP、NFI）。而埃米仪器是国内唯一一家将在线工业级原子力显微镜产品推向高端制程的公司，埃米仪器工业级高通量原子力显微镜技术路线已得到客户的认可和大力支持。

AFM 主要由扫描隧道显微镜(STM)发展而来，AFM 通过一个微小的针尖与样品表面相互作用，以实现高分辨率的表面成像。针尖与样品之间的相互作用力可以是吸引力或斥力。根据针尖与样品表面之间的距离和作用力的性质，AFM 主要有三种成像模式:接触模式、非接触模式和轻敲模式。

接触模式: 针尖与样品表面距离较小，利用原子间的斥力。这种模式可以获得高解析度图像，但可能导致样品变形和针尖受损。接触模式不适合于表面柔软的材料。

非接触模式: 针尖距离样品 5-20 纳米，利用原子间的吸引力。这种模式不损伤样品表面可测试表面柔软样品，但分辨率较低，有误判现象。

轻敲模式:针尖在扫描过程中周期性地接触和离开样品表面，以减少表面损伤和提高成像分辨率。

截止目前，埃米仪器已推出在线工业级原子力显微镜量测设备APEX-X1（全自动机台）、科研级原子力显微镜量测设备APEX-1000 （半自动机台）、高速光学扫描轮廓仪UltraView-1000、UltraView-2000等。未来将持续推出混合量测设备、高通量原子力显微镜等设备。其在线工业级原子力显微镜APEX-X1已完成某芯片头部企业的产品正式交付。

技术方面，埃米仪器通过申请专利构筑技术壁垒：目前公司已得到专利授权20余项，相关专利覆盖原子力显微镜和光学量测设备，涉及光电器件、精密机械、定位系统、电气设计等。

埃米仪器创始人杨见飞博士曾在国际顶尖半导体设备公司负责开发先进封装和量测设备核心算法开发和架构设计，制定设备算法路线图。当前，埃米仪器拥有一支以国家级人才为主的研发核心团队，目前已与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立密切合作关系。

博将资本该项目投资负责人陆元昊表示，量测设备未来将与光刻设备并行发展，发挥至关重要的作用，而原子力显微镜作为精度最高的量测设备，在先进制程中正在成为量检测主力设备。埃米仪器仅成立2年时间便成功研发出国内首台在线工业级原子力显微镜并已实现在某头部芯片客户交付。同时，公司通过推动高通量AFM、混合量测等方式弥补传统AFM机台在量检测速度的限制，将大大拓宽传统原子力显微镜的应用领域。我们坚定看好公司的发展，未来也将在多方面持续支持公司。